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摘要:许多实际应用,如系统进行化学分析,采用光学吸收辐射线表征,将受益于提供低成本的单芯片分光计。一个单芯片的CMOS显微光学分光计包含了一系列16位寻址的法布里-珀罗标准具(每一个都有不同的共振腔长度)。探测器和线路读出,复用和驾驶串行总线接口已制造。其结果是芯片,该芯片可以只用4个外部连接(包括Vdd和VSS )。涵盖可见光谱范围内的光谱半高宽= 18 nm左右。频率输出和串行总线接口允许接简单的多路传感器,多芯片的接口使用的是微控制器或一台个人电脑。1兆赫的时钟频率消耗功率大约是1250毫瓦。爱思唯尔S.A保留所有权利。